1. رسوب گذاری
اولین قدم در تولید تراشه معمولاً رسوب یک فیلم نازک از مواد روی ویفر است. این ماده می تواند یک رسانا ، یک عایق یا یک نیمه هادی باشد.
2 ، پوشش مقاومت در برابر نور
قبل از فوتولیتوگرافی ، ماده حساس به نور"؛ مقاومت در برابر نور"؛ یا"؛ مقاومت در برابر نور"؛ ابتدا روی ویفر پوشانده می شود و سپس ویفر در دستگاه لیتوگرافی قرار می گیرد.
3. قرار گرفتن در معرض
نقشه هایی را که باید روی مشبک چاپ شوند ، ایجاد کنید. پس از قرارگیری ویفر در دستگاه لیتوگرافی ، پرتوی نور از طریق شبکه به ویفر فرافکنی می شود. عناصر نوری در دستگاه لیتوگرافی کوچک شده و الگو را بر روی پوشش مقاومت در برابر نور متمرکز می کنند. تحت تابش پرتو نور ، مقاومت در برابر نور تحت یک واکنش شیمیایی قرار می گیرد و بنابراین الگوی روی عکس بر روی پوشش مقاومت در برابر نور نقش می بندد.
4. لیتوگرافی محاسباتی
اثرات فیزیکی و شیمیایی ایجاد شده در طول سنگ نوردی ممکن است باعث تغییر شکل الگو شود ، بنابراین لازم است که از قبل الگوی موجود در شبکه را تنظیم کنید تا از صحت الگوی نهایی فوتولیتوگرافی اطمینان حاصل شود. ASML داده های لیتوگرافی موجود و داده های آزمون ویفر را برای ایجاد مدل های الگوریتم و تنظیم دقیق الگوها ادغام می کند.
5. پخت و پز و توسعه
پس از خارج شدن ویفر از دستگاه لیتوگرافی ، باید آنرا پخته و توسعه داد تا الگوی لیتوگرافی به طور ثابت ثابت شود. مقاومت زیاد در برابر نور را بشویید و قسمت خالی از پوشش را بگذارید.
6 ، اچ
پس از تکمیل توسعه ، از گاز و سایر مواد برای حذف قسمتهای خالی اضافی استفاده کنید تا الگوی مدار سه بعدی ایجاد شود.
7 ، اندازه گیری و بازرسی
در طول فرآیند تولید تراشه ، ویفرها همیشه اندازه گیری و بازرسی می شوند تا اطمینان حاصل شود که خطایی وجود ندارد. نتایج بازرسی برای بهینه سازی و تنظیم بیشتر تجهیزات ، به سیستم لیتوگرافی بازگردانده می شود.
8. کاشت یون
قبل از حذف مقاومت در برابر نور ، ویفر را می توان با یونهای مثبت یا منفی بمباران کرد تا مشخصات نیمه هادی بخشی از الگو را تنظیم کند.
9. مراحل کار را در صورت لزوم تکرار کنید
از رسوب فیلم تا حذف مقاومت در برابر نور ، کل فرآیند ویفر را با یک الگوی می پوشاند. برای تشکیل یک مدار مجتمع روی ویفر برای تکمیل تولید تراشه ، این فرآیند باید به طور مداوم ، تا 100 بار تکرار شود.
10 ، تراشه بسته بندی شده
آخرین مرحله برش ویفر برای بدست آوردن یک تراشه است که در یک محافظ بسته بندی شده است. به این ترتیب می توان از تراشه تمام شده برای تولید تلویزیون ، تبلت یا سایر دستگاه های دیجیتال استفاده کرد!
اگر با محصولات ما درگیر هستید ، لطفاً بازدید کنیدwww.hkram.comاطلاعات بیشتر