برخی به عنوان تجهیزات اصلی صنعت مدار مجتمع ، دستگاه لیتوگرافی را&می نامند ؛ پیچیده ترین و پیچیده ترین دستگاه برای انسان". به عنوان مهمترین تجهیزات در تولید تراشه ، دستگاه لیتوگرافی همچنین با نام" شناخته می شود ؛ دستگاه قرار گرفتن در معرض"؛ به عنوان تجهیزات اصلی برای تولید تراشه. یکی دستگاه لیتوگرافی دستگاهی است که با استفاده از لیزر اکسایمر طول موج ماوراio بنفش ، فیلم محافظ روی سطح ویفر را از طریق قالب برداشته و سپس ویفر را در ماده خورنده خیس می کند. قسمتی که فیلم محافظ را از دست می دهد ، برای ایجاد یک مدار ، اچ می شود.
دستگاه لیتوگرافی که معمولاً مورد استفاده قرار می گیرد لیتوگرافی ترازبندی ماسک است و روند کلی لیتوگرافی شامل تمیز کردن و خشک شدن سطح ویفر سیلیکون ، پوشش پایین ، مقاومت در برابر نور ، مقاومت در برابر نور ، پخت نرم ، قرار گرفتن در معرض تراز ، پس از پخت ، توسعه ، پخت سخت ، اچ و فرآیندهای دیگر. کیفیت دستگاه لیتوگرافی به طور مستقیم تعیین می کند که چه سطحی از تراشه های فرایند قابل تولید است ، که اهمیت آن را نشان می دهد.
و امسال هم اپل ، هم سامسونگ و هم هواوی در حال آماده سازی تراشه های جدید تلفن همراه 5 نانومتری هستند. حال خواه تراشه Apple&# 39؛ s A14، Qualcomm&# 39؛ s Snapdragon 888، یا Samsung Exynos 1080، Kirin 9000 و غیره ، همه نشان دهنده بالاترین سطح تراشه های 5 نانومتری صنعت&# 39 است. در زمینه 5G و موبایل مشاهده می شود که تولیدکنندگان مختلفی در حال آماده شدن هستند. به نظر می رسد تراشه های 5 نانومتری به محدودیت های خود رسیده اند ، اما در آینده تراشه ها همچنان بهبود و ارتقا می یابند و حتی پیشرفت های بزرگتر فناوری هنوز ناشناخته است و دستگاه لیتوگرافی باید نقشی را ایفا کند. نقش ضروری و مهم.
در حقیقت ، به عنوان یکی از پیچیده ترین تجهیزات دقیق در جهان ، علاوه بر تولید تراشه ، لیتوگرافی برای بسته بندی یا لیتوگرافی پروجکشن برای تولید LED نیز وجود دارد. در حال حاضر ، دستگاههای سطح بالا لیتوگرافی&# 39 کشور من اساساً از هلند ASML وارد می شوند. در حقیقت ، مهم نیست که در ساخت یا طراحی تراشه های پیشرفته ، خدمات یک مرحله ای طراحی و ساخت تراشه در انحصار کشورهای غربی قرار دارد. این صنایع در کشور من در حال حاضر توسط دیگران کنترل می شود.
الگوی جهانی دستگاه لیتوگرافی
در حال حاضر ، تولید کنندگان اصلی ماشین آلات لیتوگرافی جهانی عبارتند از: ASML ، Nikon ، Canon ، Otech ، تجهیزات ریز الکترونیک شانگهای ، SUSS ، ABM ، Inc .. دستگاه های لیتوگرافی طرح رده بالا را می توان به دو نوع تقسیم کرد: طرح ریزی مرحله و لیتوگرافی طرح ریزی اسکن ماشین آلات وضوح تصویر معمولاً بین هفت نانومتر و چند میکرومتر است. دستگاه های پیشرفته لیتوگرافی به عنوان دقیق ترین ابزار در جهان شناخته می شوند. دستگاه لیتوگرافی 1.2 دستگاه به ارزش یک میلیارد دلار وجود دارد.
دستگاه گران قیمت لیتوگرافی را می توان گل صنعت نوری مدرن نامید و ساخت آن به حدی دشوار است که فقط تعداد کمی از شرکت های دنیا می توانند آن را تولید کنند. اینها عمدتا سه مارک اصلی مارک های خارجی هستند: ASML از هلند ، Nikon از ژاپن و Canon از ژاپن.
پیش از این ، رئیس ASML ، پیشرو در تولید جهانی دستگاه لیتوگرافی ، گفت که حتی اگر نقشه ها به صورت عمومی منتشر شوند ، ما هرگز قادر به تقلید از دستگاه های برتر لیتوگرافی نخواهیم بود.
در واقع ، ASML 90٪ سهم بازار در محصولات مشابه&# 39 جهان را دارد و تقریباً 100٪ سهم بازار زیر گره 10nm را دارد و تقریبا هسته جهانی تولید تراشه های پیشرفته را در انحصار خود دارد. و سود شرکت آنها&# 39 در چند سال گذشته به 2-3 میلیارد یورو رسیده است. سایر رقبا در همان صنعت اساساً قادر به جبران نبوده اند و حتی ایالات متحده نیز بیش از این توانایی دارد.
با تحریم ها و ممنوعیت های فروش اعمال شده توسط ایالات متحده ، تنها راه نجات برای دستگاه لیتوگرافی&# 39 کشور من تحقیق و توسعه مستقل است. اگرچه ASML می تواند موقعیت پیشرو خود در فناوری و بازار را حفظ کند ، اما با پیشرفت های فن آوری آینده ، نوآوری ها و پیشرفت های فن آوری ، این شکاف ها سریعتر کاهش می یابند.
در حال حاضر ، کانالهای زنجیره تامین تراشه سطح بالا به شدت توسط کشورهای خارجی محدود شده اند. نحوه عبور از تراشه پیشرفته R&؛ D و تولید از طریق تحقیق و توسعه مستقل بزرگترین مشکل در حال حاضر است.