در کل زنجیره صنعت نیمه هادی ، پردازش و تولید یکی از مهمترین حلقه ها است. با چنین بازار عظیمی ، تجهیزات فرآیند نیمه هادی مبنای تولید را برای تولید نیمه هادی در مقیاس بزرگ فراهم می کند. این مقاله بر روی تجهیزات اصلی در فرآیند تولید نیمه هادی ها تمرکز می کند.
1 ، کوره تک کریستال
عملکرد تجهیزات: مواد نیمه هادی را ذوب کنید ، تک کریستال را بکشید ، برای تولید دستگاه نیمه هادی بعدی ، بیلت نیمه هادی تک کریستالی را ارائه دهید.
مارک های اصلی بین المللی: PVA TePla AG (آلمان) ، Ferrotec (ژاپن) ، QUANTUM DESIGN (ایالات متحده آمریکا) ، Gero (آلمان) ، KAYEX (ایالات متحده آمریکا).
مارک های اصلی داخلی: پکن Jingyuntong ، Seven Star Huaxuang ، Century Jingyi پکن ، Hebei Jinglong Sunshine ، Xi' ؛ یک فناوری Jinko ، Changzhou Huasheng Tianlong ، Shanghai Hanhong ، Xi' ؛ یک Huade ، م 48سسه 48th گروه فناوری الکترونیک چین ، مغناطیسی حرارتی شانگهای شنه.
2. کوره اپیتاکسیال فاز گازی
عملکرد تجهیزات: ایجاد محیط فرایند خاص برای رشد اپیتاکسیال فاز گازی ، تحقق رشد بلورهای لایه نازک با ارتباط متناظر با فاز بلورهای تک کریستالی بر روی تک کریستال ، و آماده سازی اولیه برای تحقق عملکرد غرق شدن تک کریستال. اپیتاکسی فاز گازی یک فرایند ویژه رسوب بخار شیمیایی است ، که در آن ساختار بلوری لایه نازک رشد ادامه بستر تک کریستالی است و با جهت کریستالی بستر مطابقت دارد.
مارک های اصلی بین المللی: تجهیزات CVD ، GT ، Soitec ، AS ، Proto Flex ، Kurt J.Lesker ، مواد کاربردی.
مارک های اصلی داخلی: China Electronics Technology Group 48 Institute، Qingdao Cerida، Hefei Kojing Material Technology Co.، LTD. ، پکن Jinsheng Micro nano ، Jinan Liguan Electronic Technology Co.، LTD.
3. سیستم اپیتاکسی پرتو مولکولی
توابع تجهیزات: سیستم اپیتاکسی پرتو مولکولی ، که تجهیزات فرآیند را برای رشد فیلم بر روی سطح زیر مطابق با خاص ارائه می دهد. اپیتاکسی پرتو مولکولی (MBEA) تکنیکی برای تهیه فیلمهای نازک تک کریستالی است. از آن برای رشد لایه های لایه نازک در امتداد محور بلوری بستر در بستر مناسب و شرایط مناسب استفاده می شود.
مارک های اصلی بین المللی: Riber (فرانسه) ، Veeco (ایالات متحده آمریکا) ، DCA Instruments (فنلاند) ، SVTAssociates (USA) ، NBM (USA) ، Omicron (آلمان) ، MBE-Komponenten (آلمان) ، Oxford Applied (UK) Research (OAR ) شرکت.
مارک های اصلی داخلی: Shenyang Zhongke Instrument co.، LTD.، Beijing Huidexin Technology Co.، LTD.، Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co.، LTD.
4. کوره اکسیداسیون (VDF)
عملکرد تجهیزات: برای درمان اکسیداسیون مواد نیمه هادی ، فراهم کردن فضای اکسیداسیون مورد نیاز ، برای دستیابی به طراحی مورد انتظار از فرآیند درمان اکسیداسیون نیمه هادی ، یک حلقه ضروری در فرآیند پردازش نیمه هادی است.
مارک های اصلی بین المللی: UK Thermco Company ، Germany Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG company.
مارک های اصلی داخلی: پکن Seven Star Huaxuang ، Qingdao Freunde ، China Electronics Technology Technology Group 48 مuteسسه ، Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co.، LTD. ، China Electronics Technology Technology Institute 45.
5. سیستم رسوب بخار شیمیایی کم فشار (LPCVD)
عملکرد تجهیزات: بخار حاوی عامل واکنش گاز یا مایع که عناصر فیلم را تشکیل می دهد و سایر گازهای مورد نیاز برای واکنش به محفظه واکنش تجهیزات LPCVD وارد می شود و فیلم با واکنش شیمیایی روی سطح بستر تولید می شود. به
مارک های اصلی بین المللی: شرکت بین المللی برق هیتاچی ،
مارک های اصلی داخلی: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co.، LTD. China Electronics Technology Group Group 48 م Instituteسسه ، China Electronics Technology Group 45 موسسه ، پکن کارخانه ابزار ، کارخانه ماشین آلات شانگهای.
6. سیستم رسوب بخار شیمیایی پلاسما (PECVD)
عملکرد تجهیزات: از تخلیه درخشش در محفظه رسوب دهی استفاده کنید ، آن را یونیزه کنید و واکنش شیمیایی بر روی بستر انجام دهید تا مواد نیمه رسانا را با لایه نازک رسوب دهید.
مارک های اصلی بین المللی: Proto Flex (ایالات متحده) ، Tokki (ژاپن) ، Shimadsu (ژاپن) ، Lam Research (ایالات متحده) ، ASM International (هلند).
مارک های اصلی داخلی: موسسه فناوری گروه الکترونیک چین 45 ، کارخانه ابزار آلات پکن ، کارخانه ماشین آلات شانگهای.
7. جدول پاشش مگنترون (MSA)
عملکرد تجهیزات: از طریق یک میدان مغناطیسی بسته به موازات سطح هدف در پاشش دوقطبی ، و میدان الکترومغناطیسی متعامد تشکیل شده در سطح هدف ، الکترون ثانویه به ناحیه خاصی از سطح هدف متصل می شود ، تا چگالی یون بالا و زیاد حاصل شود. یونیزاسیون انرژی ، و اتمها یا مولکولهای مورد نظر روی سطح بستر با سرعت زیاد پاشیده می شوند تا یک فیلم ایجاد شود.
مارک های اصلی بین المللی: PVD Company ، Vaportech Company ، AMAT Company ، Hauzer Company ، Teer Company ، Platit ، Balzers Company و Cemecon.
مارک های اصلی داخلی: پکن کارخانه ابزار ، Shenyang Zhongke Instrument Co.
8. ماشین صیقل مکانیکی شیمیایی (CMP)
عملکرد تجهیزات: از طریق آسیاب مکانیکی و حل شدن مایع شیمیایی" ؛ خوردگی"؛ اثر ترکیبی ، پرداخت (نیمه هادی) پرداخت.
مارک های اصلی بین المللی: مواد کاربردی ، سیستم های نورفا ، Rtec.
مارک های اصلی داخلی: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co.، LTD. ، Alite Microelectronics.
9 ، دستگاه لیتوگرافی
عملکرد دستگاه: به طور مساوی روی سطح بستر نیمه هادی (ویفر سیلیکونی) بچسبانید ، الگوی روی ماسک را به مقاومت در برابر عکس منتقل کنید و موقتاً"؛ کپی"؛ دستگاه یا ساختار مدار به ویفر سیلیکونی.
مارک های اصلی بین المللی: ASML (هلند) ، Pan Lin Semiconductor ، Nikon ، Canon ، ABM ، SUSS ، MYCRO.
مارک های اصلی داخلی: چین 48 م Instituteسسه گروه فناوری الکترونیک چین ، 45 م Instituteسسه گروه فناوری الکترونیک چین ، کارخانه ماشین آلات شانگهای ، شرکت صنعتی چنگدو نانگوانگ ، LTD.
10. سیستم اکتینگ یون فعال (RIE)
توابع تجهیزات: ولتاژ فرکانس بالا بین الکترودهای صفحه اعمال می شود تا لایه یونی به ضخامت صدها میکرون تولید شود و الگوی ضربه ای با سرعت بالا در الگو قرار می گیرد ، برای دستیابی به حکاکی واکنش شیمیایی و ضربه فیزیکی و دستیابی به پردازش نیمه هادی و قالب گیری
مارک های اصلی بین المللی: Japan Evatech Company ، ایالات متحده NANOMASTER ، Singapore REC Company ، کره جنوبی شرکت JuSung ، کره جنوبی TES Company.
مارک های اصلی داخلی: پکن کارخانه ساز ، پکن Qixing Huachuang Electronics Co.، LTD. ، Chengdu Nanguang Industrial Co.، LTD. ، China Electronics Technology Technology Institute چهل و هشتمین موسسه.
11. سیستم اچ پلاسما ICP
عملکرد تجهیزات: یک یا چند اتم گاز یا مولکول در محفظه واکنش مخلوط می شوند ، تحت تأثیر انرژی خارجی (مانند فرکانس رادیویی ، مایکروویو و غیره) برای تشکیل پلاسما ، از یک سو ، گروه فعال در پلاسما و مواد سطحی که باید تحت واکنش شیمیایی قرار گیرد ، محصولات فرار تولید می کند. از سوی دیگر ، یونهای موجود در پلاسما تحت تأثیر فشار سوگیری هدایت و تسریع می شوند تا به خوردگی جهت دار و خوردگی شتاب یافته سطح حک شده پی ببرند.
مارک های اصلی بین المللی: Oxford Instruments (UK) ، Torr (USA) ، Gatan (USA) ، Quorum (UK) ، Leeman (USA) ، Pelco (USA).
مارک های اصلی داخلی: Beijing Instrument Factory ، Beijing Qixing Huachuang Electronics Co.، Ltd. ، China Electronic Technology Group 48 موسسه ، Goder ion Technology (Hong Kong) Holding Co.، Ltd. ، موسسه میکروالکترونیک ، آکادمی علوم چین ، میکروالکترونیک شمالی ، شرکت پکن شرقی Jicheng ، آموزشی ویبولیتین ، Beijing Trands Weina Technology.
12 ، دستگاه اچ و تمیز کردن مرطوب
عملکرد تجهیزات: اچ مرطوب ماده ای است که در محلول اچ برای تکنولوژی خوردگی آغشته شده است. تمیز کردن به منظور کاهش آلودگی است ، که می تواند بر عملکرد دستگاه تأثیر بگذارد ، منجر به مشکلات قابلیت اطمینان شود و عملکرد را کاهش دهد ، که نیاز به تمیز کردن کامل قبل از هر لایه از فرآیند بعدی یا قبل از لایه بعدی دارد.
مارک های اصلی بین المللی: Screen (ژاپن) ، SEMES (کره) ، Tokyo Electron (ژاپن) ، Lam Research (آمریکا).
مارک های اصلی داخلی: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co.، LTD. ، Beijing Qixing Huaxuang Electronics Co.، LTD. ، China Electronics Technology Group Institute 45 ، تایوان هنگسو.
13. دستگاه کاشت یون (IBI)
عملکرد تجهیزات: دوپینگ منطقه نزدیک سطح نیمه هادی.
مارک های بین المللی عمده: Varian Semiconductor Equipment، Inc.، CHA، INC.، AMAT، Inc. و Varian Semiconductor Manufacturing Equipment، Inc. (خریداری شده توسط AMAT).
مارک های اصلی داخلی: کارخانه ابزار آلات پکن ، م Technologyسسه 48th China Technology Technology Group ، China Chengdu Nanguang Industrial Co.، LTD.، Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co.، LTD. ، Shanghai Silicon Top Microelectronics Co.، LTD.
14 ، نیمکت تست پروب
عملکرد دستگاه: از طریق تماس پروب با پد دستگاه نیمه هادی ، آزمایش الکتریکی انجام می شود تا بررسی شود که آیا شاخص عملکرد نیمه هادی الزامات عملکرد طراحی را برآورده می کند یا خیر.
مارک های اصلی بین المللی: آلمان Ingun ، شرکت QA ، شرکت MicroXact ، شرکت Ecopia ، شرکت Leeno.
مارک های اصلی داخلی: China Electronics Technology Group 45 Institute، Beijing Qixing Huachuang Electronics Co.، LTD. ، Ruike Instruments ، Huarong Group ، Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. دستگاه نازک شدن ویفر
عملکرد: کاهش ضخامت ویفر با پرداخت.
مارک های اصلی بین المللی: ژاپن DISCO Company ، آلمان G&؛ N ، Japan OKAMOTO Japan ، Israel Camtek company.
مارک های اصلی داخلی: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Industry، LTD. ، Shenzhen Fonda Grinding Equipment Co. Manufacturing Co.، LTD.، Shenzhen Jinzhili Precision Grinding Machine Manufacturing Co.، LTD.، Weianda Grinding Equipment Co.، LTD.، Shenzhen Huannifeng شرکت فناوری ، محدود
16. دستگاه خراطین ویفر (DS)
عملکرد دستگاه: ویفر ، به قطعات کوچک Die بریده می شود.
مارک های اصلی بین المللی: شرکت OEG آلمان ، شرکت DISCO ژاپن.
مارک های اصلی داخلی: گروه فناوری های الکترونیکی چین ، پکن کچوانگ با شروع شرکت فناوری فوتوالکتریک منبع ، LTD. ، موسسه فناوری ابزار دقیق ، شرکت ماشین های شمال غرب ، LTD. ، (کارخانه 709) دارای کارخانه ماشین آلات شمال غربی ، hui sheng electronical شرکت ماشین آلات و تجهیزات الکترونیکی ، لانژو: لیزر ، یک شرکت صنعت با تکنولوژی بالا ، LTD. ، شرکت تجهیزات لیزری یاقوت سرخ شنژن ، LTD. ، کارگر وو هانسان ، zhuhai Lianoptronics ، Zhuhai Yuemao Technology.
17. سیم باندر
عملکرد دستگاه: پد را روی تراشه نیمه هادی و پد را روی پین با سیم فلزی رسانا (سیم طلا) وصل کنید.
مارک های اصلی بین المللی: American Ottey ، German TPT ، Austria FK ، مالزی UNISEM.
مارک های اصلی داخلی: 45 شرکت موسسه فن آوری الکترونیک چین ، موسسه توسعه فناوری پکن Transhijie ، LTD. ، Yuxin (Chengdu) Packaging Circuit Packaging and Testing Co.، LTD. (سرمایه گذاری Yunisan مالزی) ، Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co.، LTD.